超聲波掃描顯微鏡應用介紹北軟失效分析趙工 半導體工程師 今天超聲波掃描顯微鏡含義：超聲波掃描顯微鏡，英文名是：Scanning Acoustic Microscope，簡稱SAM，由于它的主要工作模式是C

金　　優良的靶材，廣泛應用于標準SEM鍍膜。對于熱敏性樣品幾乎不會產生任何熱量. 在高倍SEM下可看到顆粒尺寸。鈀　　可用于中低放大倍數場合，具有更低的SE信號。鉑　　具有比